潔凈室（Clean Room）亦稱為無塵室或清凈室，是將一定空間范圍內的空氣中微粒子、有害氣體、細菌等污染物排除，并將室內的溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在空氣條件如何變化，其實內均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產。潔凈室主要控制項目：

1、能除去空氣中飄游的微塵粒子

2、能防止微塵粒子的產生

3、溫度和濕度的控制

4、壓力的調節

5、有害氣體的排除

6、結構物與隔間的氣密性

7、靜電的防制

8、電磁干擾預防

9、安全因素的考慮

10、節能的考量